中圖儀器SuperViewW1白光3D輪廓儀非接觸高精密測量方式,，不會(huì)劃傷甚至破壞工件，且測量速度快,，不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測量,。它以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工,、微納材料及制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中。測量各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等參數(shù)。

工作原理

照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光,，分別投射到樣品表面和參考鏡表面,。從這兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像,。由于兩束光相互干涉,，在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差,，所以根據(jù)白光干涉條紋明暗度就可以解析出被測樣品的相對(duì)高度,。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測量功能,；

2）測量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋,、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能,；

3）測量中提供自動(dòng)拼接測量,、定位自動(dòng)多區(qū)域測量功能；

4）分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5）分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

應(yīng)用領(lǐng)域

SuperViewW1白光3D輪廓儀可對(duì)各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度、粗糙度,、波紋度,、面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺(tái)階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。